王诗男 博士

邮箱：sn_wang@shu.edu.cn

上海大学微电子学院 联聘导师

上海微技术工业研究院 副总经理

导师介绍：

本人的研究方向聚焦于MEMS先进传感器的器件以及相关制造工艺的研发。作为智慧社会知觉器官的MEMS先进传感器，具有品种多样、一个器件一套工艺的特点。比如，对于智慧社会，成像传感器是“眼睛”，麦克风传感器是“耳朵”，压力传感器是“触觉”，他们都有着相当不同的结构、需要相当不同的制造工艺。

创造出适合应用场景的传感器，可以大幅度提升智能社会的感知能力；而适合的制造工艺往往为传感器性能的提升、成本的降低起着关键性的作用。随着社会智能化的高速发展，更先进、更廉价的传感器的需求与日俱增，其制造工艺乃至设备、材料的不断创新的需求也时不我待。

通过充分利用工研院先进的8英寸MEMS研发中试线这一公共平台，希望帮助有志于MEMS事业的青年学子掌握扎实的基础知识和技能、形成良好的创新思维，尽快成为业界的有生力量。

研究方向：

MEMS工艺

教育背景：

1996年博士毕业于日本东京大学(The University of Tokyo)

1992年硕士毕业于日本东京大学(The University of Tokyo)

工作经历：

2017年-至今 上海微技术工业研究院 副总经理（产线运营）

2003年-2017年 日本佳能有限公司 主任研究员

2000年-2003年 日本科学技术振兴事业团 研究员

1998年-2000年 日本丰田中央研究所 副研究员

1996年-1998年 日本东北大学 讲师

科研成果及获奖情况：

申请中国、美国、日本、世界知识产权组织(WO)专利140余项，授权47项；发表学术论文78篇

获优秀发明等奖项7次

已授权专利：

1、S.Wang, H.Kawasaki; US patent; US9530692 (2016)

Method of forming through wiring

2、S.Wang, Y,Kodera, Y.Tamura; US patent; US9227406 (2015)

Method of manufacturing an ejection orifice member

3、S.Wang, T.Nakakubo, H.Sekiguchi; US patent; US9003620 (2015)

Process for producing liquid ejection head

4、S.Wang; US patent; US8950850 (2015)

Liquid ejection head and method of manufacturing the same

5、S.Wang, T.Nakamura, T.Teshima, Y.Setomoto, S.Watanabe; US patent; US8895934 (2014)

Microstructure manufacturing method