张嵩松 博士
邮箱:Songsong.zhang@sitrigroup.com
上海大学微电子学院 联聘导师
上海微技术工业研究院 先进声学部 总监
导师介绍:
物联网、人工智能、超越摩尔是国家、甚至全世界共同致力的科研技术方向。作为万物互联和智能制造的源头,先进的传感器是搭建卓越系统、智能平台的基石。根据应用需求,传感器测量的参数,物理量种类繁多。传感器的机理、机制多种多样,其中,基于压电和压阻效应的声学和物理量传感器,随着半导体产业的蓬勃发展,新材料、新工艺的迭代,新应用的拓展,器件本身的小型化,多样化的市场变化而不断创新,新的微机电系统(MEMS)器件也孕育而生。如何响应市场需求,并不断推陈出新且保持传感器性能的先进性,为系统、应用端的推广和更新奠定基础,是微机电传感器研发和产品落地的关键。
本课题组致力于从最终应用角度出发,将系统端需求转换为传感器迭代更新的技术语言。同时结合材料、工艺和设计的优化,不断提高针对特定应用场景的传感器综合性能,助力国内微型传感器产业发展,帮助国家解决器件、芯片端的技术瓶颈。
研究方向:
超声生物医疗器件
教育背景:
2014年博士毕业于新加坡国立大学(University of Singapore)
2009年本科毕业于新加坡国立大学(University of Singapore)
工作经历:
2019年-至今 上海微技术工业研究院 总监
2014年-2019年 新加坡微电子研究院(IME) 研发科学家
2010年-2014年 新加坡国立大学 研发工程师
科研成果及获奖情况:
国际学术期刊及专业代表性论文4篇
已研发基于四种不同工艺制造方式,针对不同频率、声媒介的压电MEMS超声换能器,部分已经量产
近五年代表性论文:
1、Songsong Zhang*, Liang Lou, Yuandong Gu. "Development of Silicon Nanowire-Based NEMS Absolute Pressure Sensor Through Surface Micromachining" IEEE Electron Device Letter. 2017, PP(99):1-1.
2、Songsong Zhang, Shih-Cheng Yen, Zhuolin Xiang, Lun-De Liao, Dim-Lee Kwong and Chengkuo Lee*, “Development of Silicon Probe with Acute Study on in vivo Neural Recording and Implantation Behavior Monitored by Integrated Si-Nanowire Strain Sensors”, IEEE J. Microelectromech. Syst., vol. 24, no.5, pp. 1303-1313, 2015.
3、Songsong Zhang, Tao Wang, Liang Lou, Wei Mong Tsang, Renshi Sawada, Dim-Lee Kwong, and Chengkuo Lee*, “Annularly Grooved Diaphragm Pressure Sensor with Embedded Silicon Nanowires for Low Pressure Application”, IEEE J. Microelectromech. Syst., vol.23, No.6, pp. 1396-1407, 2014.
4、Songsong Zhang, Wei Mong Tsang, Merugu Srinivas, Tao Sun, Navab Singh, Dim-Lee Kwong, and Chengkuo Lee*, “Development of silicon electrode enhanced by carbon nanotube and gold nanoparticle composites on silicon neural probe fabricated with complementary metal-oxide-semiconductor process”, Appl. Phys. Lett., vol. 104, no. 19, pp.193105, 2014.
已授权专利:
Ming-Yuan Chen,Songsong Zhanget.al., WIPO patent, WO 2017/105351 Al(2017)
Method and deployable multi-spine apparatus for catheter-based renal denervation.